準(zhǔn)確成像, 無交叉耦合現(xiàn)象
XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨立的柔性制導(dǎo)掃描器控制移動
很低的平面偏移度，全程水平掃描時平面偏移量不超過1納米
垂直掃描器全程伸縮時，線性度優(yōu)于0.015%
優(yōu)化的水平掃描器ringing現(xiàn)象, 正向sine-scan算法
準(zhǔn)確掃描，真正的非接觸模式
垂直掃描器，帶寬超過9kHz，探針垂直伺服響應(yīng)速度超過62mm/sec
在非接觸模式下很快的掃描速度
極低的探針磨損，能夠保證長時間的高質(zhì)量掃描
極低的樣品損傷
準(zhǔn)確測量，真正的樣品形貌
采用低噪聲遲滯檢測器測量樣品形貌
極小正反測量偏離量，小于0.15%
采用散熱部件，很大地降低了系統(tǒng)熱漂移和遲滯現(xiàn)象
功能強大的隔音罩，艙體內(nèi)部主動控溫用戶工作效率
開放式的設(shè)計，方便更換探針和樣品
探針預(yù)定位裝夾設(shè)計，簡單便捷的測量激光調(diào)節(jié)過程，具有自上至下的直觀觀察系統(tǒng)
“十秒進針”功能，探針可自動高速完成進針操作
24位數(shù)字電控箱，三組內(nèi)置鎖存放大器，具備Q-control和彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能
技術(shù)參數(shù)
XY掃描器
閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器
掃描范圍: 50
μm × 50 μm (可選 100
μm × 100 μm)
分辨率:
0.05 nm
定位檢測噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)
水平線性: < 2nm (over 40
μm scan)
Z掃描器
柔性引導(dǎo)高力度掃描器
掃描范圍: 15
μm (可選 30 μm)
分辨率:
0.015 nm
定位檢測噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)
共振頻率:
> 9 kHz (typically 10.5 kHz)
表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
光學(xué)系統(tǒng)
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)
視場: 480
× 360 μm (10× objective lens)
CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
物鏡
10x (0.21 NA) 超長工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)
20x (0.42 NA) 高分辨率長工作范圍的鏡頭(0.6 μm分辨率)
信號處理
ADC: 18個通道
4 個高速 ADC 通道 (50 MSPS)
X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs
DAC: 12 信道
2 個高速 DAC 通道 (50 MSPS)
X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs
*大數(shù)據(jù)大小: 4096 x 4096 像素
集成功能
3個通道數(shù)字鎖相放大器
熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù)
數(shù)碼Q控制
外部信號介入
20個嵌入式信號輸入/輸出端口
5個TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias
